日常保养关键操作

1. 定期清洁：每 3 个月用无水乙醇擦拭分子泵进气口、排气口及表面，避免灰尘、油污堆积影响散热。清洁时需断电停机，确保叶轮完全静止。

2. 润滑检查：对于有润滑油的型号，每月观察油位是否在刻度线内，油色是否清澈。若出现乳化、发黑现象，需及时更换同型号专用润滑油。

3. 真空系统检查：每周通过真空计监测系统真空度变化，若发现异常下降，需排查泵体是否泄漏或叶片污染。

维修核心注意事项

1. 拆解规范：维修时必须使用专用工具，避免暴力拆解导致叶轮变形、轴承损坏。拆解后需将部件分类存放于无尘环境，防止杂质进入。

2. 部件更换标准：轴承累计运行超 1 万小时必须更换；叶轮有划痕或变形时，需检测动平衡后再装配，否则可能引发共振异响。

3. 性能测试要求：维修后需进行 48 小时空载运行测试，监测转速稳定性（波动值需≤5%）；真空度测试需达到设备额定值的 95% 以上。

故障预防要点

1. 避免过载运行：严格控制入口压力（≤10Pa），防止长时间超压运行导致电机过热。

2. 定期检查冷却系统：水冷型分子泵需每月清理冷却水管路，防止水垢堵塞影响散热；风冷型需确保散热风扇无杂物遮挡。